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多晶硅出产过程中需求什么样的废气处理设备

作者: 人气:发表时间:2020-02-17
多晶硅出产过程中需求什么样的废气处理设备
 
 
  在多晶硅的出产中,还会发作必定的废气和残液,现在我们的废气处理设备现已比较先进,对以前的处理技术进行了改进,现已达到了较高的水平。
 
 
  多晶硅是太阳能和微电子工业的关键原材料,随着我国太阳能工业的快速发展,多晶硅的需求量也与日俱增。现在,多晶硅工艺技术空.前活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过气相堆积的方式出产柱状多晶硅。为了提高质料使用率,在原基础上选用闭环式出产工艺即改进西门子法。改进西门子工艺出产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。
 
  国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研讨较多。如张玉等人选用催化化学气相堆积法制备多晶硅薄膜;美国M.M.Dahl等人研讨了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒成长。此外,多晶硅的出产技术还有碳热复原法、区域熔炼法等。碳热复原法是使用高纯碳复原二氧化硅制取多晶硅,区域熔炼法是使用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。
 
  废气和残液的处理
 
  在多晶硅制备中有大量的废气和废液发作,国内多数单位通常先用水洗水解,然后通过NaOH中和废气处理和残液处理工序。
 
 
  废气净化
 
  氯硅烷分离提纯工序各精馏塔顶排放的含氯硅烷、氮气的废气,及含氯硅烷、氢气、氮气、氯化氢的多晶硅复原炉置换吹扫气和多晶硅复原炉事端排放气等,被送进尾气洗涤塔组,用水(盐酸溶液)洗涤,废气中的氯硅烷与水发作以下反响而被除掉:
 
  SiHCl3+2H2O=SiO2+3HCl+H2
  SiCl4+2H2O=SiO2+4HCl
  SiH2Cl2+2H2O=SiO2+2HCl+H2
 
  出尾气处理塔顶含有氮气和氢气的废气经液封罐放空,出尾气处理塔塔底含有SiO2固体的盐酸溶液用泵送入工艺废料处理工序。【有机废气处理】
 
 
 

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